Cíl zirkonia je materiál používaný v procesu fyzické depozice par (PVD), obvykle používaný k vytváření tenkých filmů. Zirkonium (chemický symbol Zr) je přechodný kov s vynikající odolností proti korozi, vysokým bodem tání a dobré mechanické vlastnosti. Cíle zirkonia se široce používají v polovodičích, optických povlacích, dekorativních povlacích a funkčních filmech.
Bod tání: 1852 stupňů
Bod varu: 4400 stupňů
Hustota: 6,5 g/cm³
Specifikace: plochý cíl/kulatý cíl
Implementační standard: ASTM B550 GB/T 8769-2010 GB/T 26314-2010
Hlavní oblasti aplikace
1. Výroba polovodiče: cíle zirkonia se používají k ukládání filmů s vysokou dielektrickou konstantou (high-k), jako je oxid zirkonia (Zro₂), pro dielektrické vrstvy tranzistorové brány.
2. optické povlaky: Zirkoniové filmy mají vysoký index refrakcí a dobré optické vlastnosti a často se používají v antireflexních filmech nebo reflexních filmech pro optická zařízení a čočky.
3. Dekorativní povlak: Cíle zirkonia lze použít k přípravě odolných dekorativních povlaků odolných proti opotřebení a korozi, jako jsou hodinky, šperky atd.
4. funkční tenké filmy: Thinské filmy zirkonia lze také použít při přípravě palivových článků, senzorů a katalyzátorů.
Charakteristiky cílů zirkonia
Vysoká čistota: Čistota cílů zirkonia je obvykle nutná k dosažení více než 99,9%, aby se zajistilo výkon filmu.
Vysoká hustota: Cíl vyžaduje vysokou hustotu ke snížení tvorby částic během rozprašování.
Dobrá uniformita: Chemické složení a mikrostruktura cíle musí být jednotná, aby byla zajištěna konzistence filmu.
Proces přípravy
Příprava cílů zirkonia obvykle zahrnuje následující kroky:
1. tání: Připravte vysoce čisté zirkoniové ingoty vakuovým obloukovým táním nebo tání elektronového paprsku.
2. kování a válcování: Vylepšete mikrostrukturu a mechanické vlastnosti materiálu prostřednictvím zpracování horkých.
3. obrábění: Zpracovejte materiál do tvaru a velikosti vhodné pro rozprašovací zařízení.
4. Čištění a obaly: Zajistěte, aby byl cílový povrch čistý, aby se zabránilo kontaminaci.
Populární Tagy: Target na rozprašování nátěru zirkonia, čínský nástřik nátěru zirkonia cílového výrobce, dodavatelé, továrna
