Co je Tantalum Target?
Tantalum target is a material made of high-purity tantalum metal or tantalum alloy, which is mainly used in various thin film deposition processes. Tantalum target is known for its excellent corrosion resistance, high melting point and biocompatibility, and is widely used in many high-tech fields such as electronics, semiconductors, anti-corrosion coatings and medical zařízení .
Fyzikální a chemické vlastnosti
Mezi hlavní fyzikální vlastnosti cíle Tantalum patří:
Bod tání: 3290K (3017 stupňů)
Bod varu: 5731k (5458 stupňů)
Hustota: 16,68g/cm³
Tvrdost: Vysoká tvrdost, tažnost a odolnost proti korozi
Chemická stabilita: Tantalum nereaguje s Aqua Regia, vhodný pro výrobu chemických zařízení a zdravotnických prostředků
Metoda přípravy
Metoda přípravy Tantalum Target obvykle obsahuje následující kroky:
1. Prášková metalurgie: Metoda tepelné redukce sodíku se používá k výrobě prášku Tantalum s velikostí částic 2-3 mikronů .
2. Cold Isostatic Pressing: Cold Isostatic Pressing se provádí na prášku Tantalum v latexovém balíčku, s tlakem větší než 200 MPa a dobou držení po delší než 20 minut .
3. Sintering: Sintering se provádí za podmínek vakua většího než 1*10^-2 MPa a teplotu větší než 2400 stupňů, s dobou držení větší než 1. 5 h.
4. Válcování a tepelné zpracování: Sinred Tantalum Billet je válcován a tepelně ošetřen, aby se získal cíl Tantalum .
Oblasti aplikace
Cíle tantalu jsou široce používány, zejména:
1. Elektronika a polovodičová průmyslová odvětví: Používá se jako bariérové vrstvy materiálů ve výrobě integrovaných obvodů, zejména v technologii propojení mědi, kde je vysoký bod tání Tantalu a nízký odpor .
2. Potahování proti korozi: Vzhledem k jeho vynikajícímu odolnosti proti korozi se Tantalum používá k natažení chemického vybavení a kovových povrchů vystavených extrémním prostředím pro prodloužení životnosti zařízení .
3. Optické a optoelektronické filmy: Tantalum Cíle lze použít k natáčení filmů se specifickými optickými vlastnostmi a jsou široce používány v optických zařízeních, displejích a senzorech .
4. Lékařské prostředky: Tantalum má dobrou biokompatibilitu a je vhodný pro potahování lékařských implantátů, jako jsou kostní destičky a protézy kloubů, aby se snížily reakce od odmítnutí člověka .